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    公开号:WO1991006388A1
    申请号:PCT/JP1990/001389
    申请日:1990-10-30
    公开日:1991-05-16
    发明作者:Kouichi Seimiya；Keiichirou Asagawa
    申请人:Japan As Represented By Director-General Of Agency Of Industrial Science And Technology；Miracle Company Limited；
    IPC主号:B23H9-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 発明の名称
    [0002] 小径管内面の電解砥粒超鏡面仕上げ方法 技術分野
    [0003] 半導体工業をはじめと して、 清铮で高純度の流体を圧送する 流路が必要とな り 、 この流路に使用するために、 内面を高度に 鏡面仕上げした比較的小径のステン レス鑲管の需要が着実に増 大している。 '
    [0004] *発明は、 このよ う な用途に適した管の内面を電解砥粒超鏡 面仕上げするための方法に関するものである。 先行技術の記載
    [0005] 従来、 清铮で高純度の流体を圧送する S管の研磨には、 管の 中心軸に細い電極を挿入して電解研磨仕上げしたものが最良で ある とされているが、 仕上げ面粗さ （ Rnax ) のばらつきが大き く 、 実用上での保証値は 0.7 m Rmax程度にと どま つている。 また、 取り代が大きいために生じる肉厚の減少、 コス ト 高のほ か、 仕上げ面が電解液の老化や管素材成分の変化の影響を大き く 受けるなど ^¾題もある。
    [0006] 一方、 木発明者らは、 先に特開昭 60-34227 号において、 円 筒内面の電解砥粒研磨法を提案している。
    [0007] この方法は、 導電性材料からなる回転支持体の外周に、 砥粒 を支持するナイ ロン不織布等の通液性ある弾性体を捲回固定す るこ とによ り 、 工具を構成し、 この工具を被加工物における円 筒内に圧入し、 被加工物と工具との間に電解液中で微小電流を 流して円筒内面を電解する と共に、 これに並行して工具と被加 ェ物との間に相対的運動を与えるこ とによ り 、 上記弾性体に支 持された砥粒によ って被加工物内面を機械的に研磨するもので ある。 この方法では、 上記弾性体が円筒内面の形状に做って変 形し、 砥粒をその内面に無理なく 押し付けるため、 円筒内面が 形状精度を保っ たま ま研磨され、 通常は表面粗さを 0 . 2 1» Rmax以下に、 最も条件のよい場合で （K l it m Rnax程度に研磨で きるものである。
    [0008] 上述した流体圧送用その他の用途においては、 小径管内面の 表面粗さを一層改善するこ とが望まれているが、 上記既提案の 方法以上に内表面粗さを改善する方法は未だ提案されていな い 0 .
    [0009] —発明の要約
    [0010] *発明の目的は、 電解砥粒研磨法を上記管内面に邃用して、 下地面粗さ 3 ii m Rma x程度の表面を数 10n n Riax 程度にまで超 鏡面仕上げする方法を得るこ とにある。
    [0011] 太発明の他の 目 的は、 簡単な工具並びに簡単な装置によ つ て、 上記超鏡面仕上げを行う こ とが可能な方法を得るこ とにあ る。
    [0012] 末発明のさ らに他の目的は、 短時間の前段研磨工程と短時間 の鏡面研磨工程とによ って、 結果的に非常に短時間に超鏡面仕 上げする方法を得るこ とにある。 上記目的を達成するための本発明の電解砥粒超鏡面仕上げ方 法は、
    [0013] 芯電極の周面に砥粒付きのナイ ロン不織布を卷いた前段仕上 げ用電極工具を、 ワークである小径管内に圧入し、 その小径管 をブラス極、 電檁工具をマイナス棧と して、 電解被中において 両極間に微小電流を流すこ と によ り 、 上記小径管内面を電解に よ り 研磨 し、 これと 並行して電極工具と小径管を相対的に回 転させる と 同時に、 轴方向に相対的な往復運動を与える こ と によ って機械的に研磨し、 小径管内面の表面粗さが少な く とも 0 . 5 it m R m a x以下になるまで継統する前段研磨工程と、
    [0014] この前段研磨工程の後に、 工具と して、 芯電極にの周囲にゥ レタ ン材を卷いた鏡面仕上げ ffl電極工具を用い、 これを上記小 径管内に圧入して、 小柽管をブラス棧、 電極工具をマイナス S と して、 微細な遊離砥粒を混入した電解液中において両極間に 微小電流を流すこ と に よ り 上記小径管内面を電解によ り 研磨 し、 これと並行して電極工具と小径管を相対的に回転させる と 同時に、 軸方向に相対的な往復運動を与え、 電解液中の遊離砥 粒の作用をも付加して管内面を機械的に鏡面研磨する鏡面研磨 工程と 、
    [0015] を有するこ とを特徴とするものである。
    [0016] 上記前段研磨工程は、 順次細かい砥粒をもつナイロン不縝布 を巻いた前段仕上げ用工具を用いて複数段に行う こ と もでき る。
    [0017] 上記電解砥粒超鏡面仕上げ力法においては、 前段研磨工程に おいて、 砥粒付きのナイ ロン不織布を巻いた前段仕上げ用工具 による電解作用及び工具と小径管の相対的回転と軸方向の往復 運動による機械的な研磨作用、 並びに適切な時点で切換えて行 う鏡面研磨工程において、 ウ レタン材を巻いた鏡面仕上げ用ェ 具による電解作用及び電解液中に微細な遊雜砥粒を混入した状 態での工具と小径管の相対的回転と轴方向の往復運動による機 械的な研磨作用が、 後述する実施例によって明らかなよう に、 極めて有効に作用 し、 下地面粗さ 3 μ ι» Ra a x程度の表面が数 10n m Rnax 程度にまで超鏡面仕上げされる。
    [0018] ― 図面の簡単な説明—
    [0019] 第 1 図 A， Bは、 本発明の前段研磨工程において用いる前段 仕上げ用電極工具の製造の過程及び完成状態を示す斜視図、 同 図 C は鏡面研磨工程において用いる鏡面仕上げ用工具の斜視 図、 第 2図は電極工具周速と平均交差角の関係を示すグラフ、 第 3図は 発明の方法を実施する装置の概要を示す断面図、 第 4図及び第 5図は他の装置例の平面図及び正面図、 第 6図は素 材管内面の粗さ分布を示すグラ フ、 第 7図は # 500 砥粒のナイ ロン不織布による下地面粗さの改善特性を示すグラフ、 第 8図 A , Bは粗、 中仕上げの研磨実験を行った結果の粗さ改善特性 を示すグラフ、 第 9図はウ レタン材を用いた鏡面仕上げ用電極 工具に よ る研磨ェ程の粗さ曲線の時間変化を示すグラ フであ る。 発明を実施するための最良の形態
    [0020] 本発明において内面研磨の対象とする管は、 一般的には、 内 径が 1 5 0 m m程度以下の比較的小径のステン レス鑛管であ り 、 管 内面の真円度を得るためには、 必要に応じて予め内面を機械加 ェしておく 。
    [0021] *発明の超鏡面仕上げ方法は、 前段研磨工程と後段の鏡面研 磨工程からなるものである。
    [0022] 前段研磨工程において用いる前段仕上げ用電極工具 1 は、 第 1 図 Aに例示するよう に、 S U S管等からなる芯電極 2 に、 多 孔質ゥ レタ ン材等の電解液の通被性に優れたテープ状の弾性 材 3 を巻き付け、 さらにこの弾性材 3 を介してテープ状の砥粒 付きナイ ロン不織布 4 を螺旋状に巻き、 両端を接着剤で固定し て、 同図 Bに示すような状態に構成される。 上記ウ レタン材に 代えて、 それと同程度の電解液、 通液性、 並びに弾性を有する 材料を用いるこ とができる。
    [0023] また、 内面研磨すべき円筒の内径が比較的大きい場合には、 芯電極 2 と して研磨等によ り 寸法精度の高いパイブを得易いの で、 所要の外径を有する芯電極に直接的に砥粒付きナイロン不 織布 4 を卷付けて使用する こ とができる。 この場合には、 ナイ ロン不搽布 4 自体の弾性によ り 適当な押付圧を得られるよう に する必要がある。
    [0024] さ らに、 ナイロン不織布 4 は、 研磨中に弾性率が時間的に若 干変化するので、 円筒内面への押付圧をほぼ一定に保っために は、 時間の経過に応じて電極工具を若干拡径できるよう に して おく のが望ま しい。 そのための具体的構造と しては、 ホーニン グ用工具において一般的に利用されているよう な構造を芯電 S に採用すればよい。
    [0025] 弾性材 3 と しては、 緵弾性率が lOOkPa以下、 望ま し く は 50 kPa 前後であるような弾性を有し、 さらに、 電 S工具が 100通 H 程度の径を有する場合に数 l /Bin程度の通液性を有するこ とが 望まれる。
    [0026] 前段の粗及び中仕上げ用電極工具を用いて複数段の前段研磨 工程を実旌する場合には、 例えば # 500 及び # 3000の砥粒を フエノール樹脂等によ り付着させたナイロン不織布をそれぞれ 用い、 それらを弾性材 3 上に巻き付けた粗及び中仕上げ用電極 工具を個別的に用意し、 順次細かい砥粒のナイ ロン不繳布のェ 具を用いて研磨を行う こ とになる。 一方、 第 1 図 Cに示す鏡面 仕上げ用電極工具 5 は、 同様の芯電極 6 にウレタン材 7 のみを 卷く こ とにより構成される。 ウレタン材 7 と しては、 前記前段 仕上げ用電極工具 1 のウ レタン材と同じものを用いるこ とがで きる。
    [0027] 小径管内面の研磨では、 加工面全体が常に工具と接蝕状態に あ り 、 工具外径によ り押付圧がほぽ块まるため、 上記前段仕上 げ用電極工具 1 及び鏡面仕上げ用電極工具 5 の外径は押付圧を 考慮して決定する必要がある。 通常、 この押付圧は、 円筒内面 と工具との接触面積に関連して、 研磨抵抗が適当な範囲内にあ るよう に設定され、 好ま しく は、 5〜： !OOkPa程度になるよう に 設定されが、 これに拘束されるものではない。
    [0028] 研磨に際しては、 電桎工具と小径管を相対的に回転させる と 同時に、 軸方向に相対的な往復運動を与えるが、 この往復運動 によ り小径管内面の砥粒線に大きな交差角が生じて円周方向の 深い条痕発生が防止され、 平滑作用も大幅に向上するほか、 ェ 具製作のばらつ き に起因する長手方向の加工むらも平均化さ れる。
    [0029] 工具と小径管の相対的な回転速度と軸方向の往復運動の速度 は、 小径管の内面の砥粒線に少なく とも 2 。 の平均交差角が生 じるよう に設定するこ とが望まれる。 この平均交差角は、 5 。 以上の範囲がよ り好ま しいが、 適切な値に設定するためには、 工具と小径管の相対的な回転速度を低下させ、 あるいは工具と
    [0030] / 'J、径管の軸方向の往復運動の速度を増大させる必要があ り 、 そ れらは研磨能率の低下等の問題点の原因になるため、 支障が生 じない範囲内において上記平均交差角が設定される。 第 2図 は、 往復運動の平均速度をパラメータ と して、 電極工具周速と 平均交差角の関係を示すものである。
    [0031] 一方、 一般的に、 電解による研磨を行う に際しては、 電解液 の流量を多く する必要がある。 しかるに、 上述した電極工具を 小径管に挿入する と、 その小径管を鉛直に配置して一端から 自 然流下によ り電解液を供給しても、 小径管内面と工具との間の 隙間からは殆ど電解液が流下しない。 そのため 電解液を自然 流下に よ り 供給する場合には、 加工に影響が出る可能性があ り 、 その対策と しては、 3 0秒位で一旦停止して液を更新する と か、 パルス電流を使用するなどの配慮が必要である。 電解液に 圧力をかけて強制的に流す場合には、 上記配慮は不必要にな る。 特に、 長尺管の場合には、 電解液を強制的に流す必要があ る と考えられるが、 この場合には、 芯電極 2 , 6 と してパイプ状 のものを用い、 その中を通して供給した電解液を、 ナイロン不 搽布 4 やウ レタン材 7 の巻き付け部分内を含む適宜位置に設け た穴を通して流出させるのが望ま しい。
    [0032] 電解による研磨は、 小径管をプラス極、 前段仕上げ用電極ェ 具 1 または鏡面仕上げ用電極工具 5 をマイナス檁と して、 電解 液中において両極間に微小電流を流すこ とによ って行い、 これ と並行して、 上述したよう に、 電極工具と小径管を相対的に回 転させる と 同時に、 轴方向に相対的な往復運動を与える。 ま た、 前段研磨工程に铳く 鏡面研磨工程では、 電解液中に微細な 遊離砥粒を混入し、 この遊離砥粒の作用をも付加して機械的に 鏡面研磨する。 この遊離砥粒は、 # 10000 程度のものが望ま し く 、 また、 砥粒濃度は 1 %以下で十分であり 、 電解液の循環系 の途中における沈殿等が無視できるならば、 0.5 %で十分であ る。
    [0033] 実用面か ら は、 前段研磨工程での電解による下地面処理を 2〜 3 a i n の一工程で行いたいという要請があるが、 ビッ ト発 生によ り仕上げ面粗さが急増大する現象が始まる臨界電流密度 近く にまで電流を上げるのは避ける方が安全である。 電流密度 は、 0.5A/cm2では部分的に粗さの急増大がみられる場合がある こ とから、 0.1 〜0.4A/CB2、 安全を考える と 0.3A/cm2以下に設 定するのが望ま しい。
    [0034] なお、 臨界電流密度に対しては、 押付圧が大きい影響を及ぼ すほか、 芯電極の小径管中心轴からのブレゃ影響を及ぼすほ か、 研磨材の卷き方の不均一による極間抵抗の局所的ばらつき の影響も考えられる。 これらの点での改善がなされれば、 前段 研寒工程では加工電流密度を 0.5A m2程度まで上げて仕上げ速 度を高速化する こ とも可能である。 また、 パルス電源を使用す る場合には、 電解液の更新に伴う休止時間の省略のほか、 臨界 電流密度のア ップも期待できる。
    [0035] 上記加工で利用する低い電流密度範囲においては、 アノー ド 電流の殆どが不激態皮膜の形成やガス発生に費やされ、 ァノー ド金属のイオン化による電解溶出の形では寄芋しない結果、 電 流効率はゼロに近い。 こ こ で 、 砥粒の擦過によ り 皮膜が除去さ れる と、 下地の金属が露出 し、 電流効率は瞬間的に 100%近く になるが、 再び形成される皮膜が時間と ともに厚く な り 、 電流 効率は対数的に低下する非定常過程をたどるこ とになる。 しか し、 砥粒による皮膜の除去が繰り返され、 凸部の時間平均電浣 効率が数 10%の高いレベルに維持される一方、 凹部の電解効率 は Sめて低い値に抑制される結果、 砥粒加工と電解溶出が積の 形で寄与し、 少ない取り代で、 平滑化が急速に進行する。
    [0036] ナイ ロン不織布 4 を用いた前段研磨工程から ウ レタン材 7 を 用いる鏡面研磨工程への切换は、 一般的には小径管内面の表面 粗さが 0.5 μ. m R覼 axを切つた後に、 望ま しく は 0.2 μ ϋ RBaxを 切った後に行うのが有効である。 このよう な時点で工程の切换 を行う と、 それぞれの工程の特徴を有効に利用して、 能率的な 超鏡面仕上げを行う こ とが可能になる。
    [0037] 次に、 第 3図ないし第 5図を参照して本発明の電解砥粒超鏡 面仕上げ方法を実旌する装置について説明する。
    [0038] 第 3図は、 比較的短寸の小径管内面の研磨に適した装置例を 示すものである。 この装置において、 10は内面を研磨すべき小 径管で、 保持具 11によって垂直に保持するよう にし、 小径管 10 の一端をプラスチッ ク製のガイ ド 12によ って加工槽 13の底部に 臨ませている。 電極工具 14は、 第 1 図 A , Bによ って説明した よう な構成を有するもので、 その芯電極 15を図示しない回転及 び轴方向往復駆動装置に装着可能と し、 またこの電極工具 14と 小径管 10との間に電解のための電流を流すため、 電極工具 14は 図示しない電源装置のマイナス極に、 小径管 10はその電源装置 のプラス極に接続される。
    [0039] 小径管 10の内面の研磨に際しては、 先に説明したよう に、 順 次必要な電桎工具 14を取付け、 また鏡面研磨工程においては第 1 図 Cに示すよう な鏡面仕上げ用電 S工具 5 を用い、 電解液中 に微細な遊離砥粒を混入して、 上記と同様の電解及び機械的な 研磨を行う ものである。
    [0040] なお、 量産を行う場合には、 加工槽に多数の小径管を装着可 能にする と ともに、 電極工具の回転及び往復駆動装置を多軸化 すればよい。
    [0041] 第 4図及び第 5図に示す装置例は、 例えば 4 ffl 程度にも達す る長尺の小径管の内面研磨に適したもので、 脚 21, 21, · · に よ って支持された架台 22 , 23 上に、 小径管 20を横架状態で部分 的に支持する支持台 24 , 24 , · · 、 及び電極工具 25をその小径管 20と同一軸線上に保持して取付ける工具スタ ン ド 26を設けてい る。 この工具スタ ン ド 26は、 架台 23上に小径管 20の轴線方向に 摺動可能に設けたもので、 電極工具 25を回転駆動するモータ 27 を備える と ともに、 工具スタ ン ド 26自体を小径管の軸線方向に 駆動する移動用モータ 28を備えている。 また、 上記架台 22には、 小径管 20を軸線方向に往復 ¾動する ための往復駆動装置 30を設けている。 この往復駆動装置 30は、 小径管 20を把持してその管の軸線方向に送る装置、 あるいは小 径管 20を一対の回転ローラ間に挟んでそれらのローラの回転に よ り小径管を送る装置などによ って構成するこ とができる。 ま た、 この往復駆動装置に小径管を緩回転させるための機構を付 設し、 支持台 24 , 24 , · ♦ に回転可能に支持させた小径管 20を加 ェ中に回転させるよう にする こ ともできる。 なお、 3 1は小径管 20を押えておく ための押え機構であるが、 小径管 20を緩回転さ せる ための回転駆動機構をこの押え機構に設ける こ と もでき る。
    [0042] この装置においては、 電極工具 2 5の芯電 Sを構成するロッ ド 32を長く 形成して、 それをモータ 2 7で回転させながら、 小径管 20の轴線方向の定速送り を掛けるよう にし、 一方、 往復駆動装 置 30によって小径管 20を軸線方向に往復駆動するよう に してい るが、 工具スタ ン ド 2 6に定速送り と往復駆動の複合動作を行わ せるこ ともできる。 また、 原則と して、 小径管 20の一端から挿 入 した電桎ェ具 2 5は小径管 20の他端まで送ってそこから取出 し、 1 パスで研磨を完了するのが望ま しいが、 必要に応じて電 極工具 2 5を往復移動させるこ ともできる。
    [0043] この装置例のよう に、 内面研磨する小径管を水平に配置する 場合には、 加工中に小径管を緩回転させる と、 管内面の円周方 向の加工むらをなく すこ とができる。 しかし、 第 3図の例のよ う に小径管を垂直に S置する場合には、 電解に伴って発生する ガスが抜けやすく 、 管内面全周を均一に加工できるので、 小径 管を緩回転させる必要はない。
    [0044] 上記 1 パスで研磨を完了する場合には、 電極工具 25と して、 その先端側から、 順次、 粗、 中のナイロン不織布を巻き、 さら に鏡面仕上げ用のウ レタン材を巻いた複合電極工具を用いるこ ともできるが、 複数の研磨装置において、 それぞれ、 粗、 中、 鏡面仕上げのための電極工具を装着して、 それらの装置によ り 小径管を順次研磨するこ ともできる。
    [0045] また、 電極工具 25は図示しない電源装置のマイナス極に、 小 径管 20はその電源装置のブラス極に接続されるのは勿論である が、 電解液は、 小径管 20の一端から、 あるいは電極工具 25の芯 電極内を通して加圧供給される。
    [0046] —実施例
    [0047] 以下に: *：発明の方法の実施例を示す。
    [0048] 実験においては、 第 1 図 A及び第 1 図 Bによって説明したよ う な、 粗、 中、 及び第 1 図 Cに示した鏡面仕上げ用電極工具を 使用した。
    [0049] 小径管と しては、 外径 6.35IBB、 肉厚 1 ΒΒ、 長さ 35aaのステン レス鍊 B A管 （ SUS316L:内表面積約 4.8ca2) を使用したので、 それに伴って、 粗、 中仕上げ用電極工具は、 外径 2 Iのステン レス管を芯電極と し、 ウ レタン材と砥粒付きナイロン不艤布を 螺旋状に巻いて両端を接着し、 外径を約 5 anに形成した。 鏡面 仕上げ用電極工具は、 ウ レタ ン材のみを巻いたものである。
    [0050] 研磨に際 しては、 上記工具を第 3図に示すよ う な態様で、 ボール盤を改造した研磨装置の主軸に取付け、 毎秒 23回転と、 7 H2、 振幅 8 mmの往復運動を付加した。 これによ り平均交差角 は第 2図の〇印に設定される。
    [0051] 小径管と工具のすき間を通過して落下する電解液は殆どゼロ であるため、 電解液を更新する 目的で 30秒毎に加工槽を降下さ せて工具を小径管からほんの少し戆す操作 （約 12秒間） を行つ た。 なお、 電解被には、 aN03 の 20%水溶液を使用 した。
    [0052] 素材のステン レス饞 B A管の内面には、 多数の微小ビッ 卜が 点在 してお り 、 こ のビッ 卜の深さが下地面粗さを支配してい る。 第 6図は粗さ曲線から求めた Rmax (カ ッ トオフ値 0.8墮通） の分布である （データ数 630 ) 。 尚、 粗さ測定には、 ラ ンク ♦ ティ ラー · ノヽブ ソン（Rank Taylor Hob son) 社製のタ リ サーフ 5 型を使用した。 従って、 きずを考慮しなければ、 前段の粗研磨 工程における # 500 砥粒付きナイ ロ ン不綣布による取り 代は 3 jLt m 程度を見込めば良いこ と になる。
    [0053] 第 7図は、 # 500 の砥粒を付着させたナイロン不繳布による 下地面粗さの改善特性を示し、 10分ほどで粗さは下限に達して いる。
    [0054] 電流密度を 0.3 A/cn 2に設定し、 加工時間を各 2分間とする 粗、 中仕上げの研磨実験を行った結果の粗さ改善特性を第 8図 A , Bに示す （カ ッ トオフ値 0.25am) 。 粗、 中仕上げでは同一 の試験片を使用し、 # 500 砥粒付着ナイ ロン不繳布による仕上 げ面がそのま ま # 3000砥粒付着ナイ ロン不錄布での下地面と な っている。
    [0055] # 500 及び # 3000砥粒のナイロン不繳布による粗、 中仕上げ 面の粗さ曲線を観察した結果によれば、 小径管内面の加工表面 は、 かなり大きな交差角をもつ多数の砥粒線によ り構成されて おり 、 その砥粒線の最も深いものが、 仕上げ面粗さ Rmaxを支配 している。
    [0056] 第 9図は、 ウ レタン材を用いた鏡面仕上げ用電極工具による 研磨工程の粗さ曲線の時間変化を示す （縱倍率 2万倍、 横倍率 100 倍で測定） 。 電解液 （ NaN03 の 20%水溶液） 中に混入した アルミナ砥粒の平均粒径は、 1 β m 弱である。
    [0057] 中心線平均粗さ Raは、 1 〜 2分で粗さ計の最小感度を下回つ ており 、 Rmaxfc 2分で見かけ上の変化はなく なる。 このレベル の粗さではミ ク ロのうねり と粗さの区別が難し く なるため、 目的、 用途に応じて適切なカ ウ トオフ値を用いてデータ整理す る必要がある と考えられる。 カ ッ トオフ値 0.25BIIとする と、 最 も良い場合では 0.03 /t m Rmax、 平均的には 0.05 ;t m が得られ た。
    [0058] 以上の実験結果から、 内径 4.35IB1Iのステンレス鍋 B A管内面 に電解砥粒研磨法を適用し、 3 i B Raax程度の下地面を 0.05 ft m Rmax程度にまで超鏡面仕上げするこ とができた。 # 500 及 び # 3000砥粒のナイロン不纔布による粗、 中研磨工程、 ウレタ ン材による鏡面研磨工程の各 2分のほか、 電解液流量がゼロに 近いために 30秒ごとに行う電解液更新の際の休止時間が各 3 回 加わり 、 総加工時間は 8分弱になる。 多軸化が容易であるこ と を考慮すれば、 これは十分に経済性のある値である。 産業上の利用可能性
    [0059] 以上において説明 した と ころから明らかなよう に、 *発明 は、 化学工業、 食品工業、 原子力工業、 バイオ産業などの広い 分野におけるステン レス （ S U S ) 鋼管の内面を超鏡面仕上げ する場合に適し、 その需要に対応できるのは勿論であるが、 上 記 S U S管ばかり でなく 、 アルミニウム、 チタニウム、 銅、 各 種鉄系材料など、 各種金属を適用対象と して、 その内面研磨に 利用するこ とができる。
    权利要求:
    Claims請 求 の 範 囲
    1 . 芯電桎の周囲に砥粒付きのナイ ロン不錄布を巻いた前段 仕上げ用電極工具を、 ワークである小径管内に圧入し、 その小 径管をブラス極、 電極工具をマイナス極と して、 電解液中にお いて両極間に微小電流を流すこ とによ り 、 上記小径管内面を電 解によ り研磨し、 これと並行して電極工具と小径管を相対的に 回転させる と同時に、 軸方向に相対的な往復運動を与えるこ と によって機械的に研磨し、 小径管内面の表面粗さが少なく とも 0 . 5 jit m Rffla x以下になるまで継続する前段研磨工程と、
    この前段研磨工程の後に、 工具と して、 芯電極にの周囲にゥ レタ ン材を卷いた鏡面仕上げ用電極工具を用い、 これを上記小 径管内に圧入して、 小径管をブラス極、 電極工具をマイナス極 と して、 微細な遊戆砥粒を混入した電解液中において両 S間に 微小電流を流すこ と によ り 上記小径管内面を電解によ り 研磨 し、 これと並行して電極工具と小径管を相対的に回転させる と 同時に、 軸方向に相対的な往復運動を与え、 電解液中の遊雜砥 粒の作用をも付加して管内面を機械的に鏡面研磨する鏡面研磨 工程と、
    を有する こ と を特徴とする管内面の電解砥粒超鏡面仕上げ方 法。
    2 . 請求項 1 に記載の方法の前段研磨工程において、 順次細 かいナイロン不緣布を巻いた前段仕上げ用電極工具を用いて複 数段の研磨を行う こ とを特徵とする管内面の電解砥粒超鏡面仕 上げ方法。
    3 . 前段仕上げ用電極工具及び鏡面仕上げ用電 S工具の外径 を、 それが内面研磨すべき管内に挿入されたと きに 5〜 100kPa の押付圧で圧接するよう に設定したこ とを特徴とする請求項 1 に記載の管内面の電解砥粒超鏡面仕上げ方法。
    4. 工具と小径管の相対的な回転速度と軸方向の往復運動の 速度を、 小径管の内面の砥粒線に少なく とも 2 。 の平均交差角 が生じるよう に設定するこ とを特徵とする請求項 1 に記載の管 内面の電解砥粒超鏡面仕上げ方法。
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